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材料
磷化銦InP單晶基片
發布時間 : 2020-06-17 瀏覽次數 : 8964

  磷化銦InP單晶基片

  InP單晶材料是最重要的化合物半導體材料之一,是光纖通信技術中的非常關鍵的材料,基于InP的激光二極管(LD)、發光二極管(LED)和光探測器等器件實現了光纖通信中信息的發射、傳播、放大、接受等功能。InP同時也非常適用于高頻器件,如高電子遷移率晶體管(HEMT)和異質結雙極晶體管(HBT)等方面。由于InP本身具有的優越特性,使其在光纖通信、微波、毫米波、抗輻射太陽能電池、異質結晶體管等諸多高技術領域有著廣泛的應用.

 

生長方法

液封提拉法LEC

晶體結構

立方

晶格常數(nm)

0. 587

晶向

<100>、<110>、<111>±0.5o、或特殊方向

摻雜程度

輕摻、中摻、重摻

摻雜元素

不摻雜

摻S

摻Zn

摻Te

導電類型

N

N

P

N

帶隙(eV)

1.34

電阻率(Ω·cm)






遷移率(cm2/(v·s))

(3.5-4)×103

(2.0-2.4)×103

(1.3-1.6)×103

70-90

≥2000

載流子密度(/cm3

(0.4-2)×1016

(0.8-3)×1018

(4-6)×1018

(0.6-2)×1018

107-108

位錯密度(EPD)(/cm2

<5×104

 3×104

2×103

2×104

3×104

尺寸

Φ2″×0.5mm、Φ3″×0.5mm,可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸

表面

單拋片、雙拋片或切割片

厚度(um)

500,厚度公差+-10um,可定制

TTV (Total Thickness

Variation)


TIR (Total Indicated

Reading)


Bow


Warp


包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室

 



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