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材料
氮化鎵(GaN)晶體基片
發布時間 : 2020-06-16 瀏覽次數 : 11100

氮化鎵(GaN)晶體基片 氮化鎵GaN自支撐襯底 晶體 基片 5G半導體材料 LED級別

GaN具有直接帶隙寬、原子鍵強、熱導率高和抗輻照能力強等性質,不僅是短波長光電子材料,也是高溫半導體器件的替代材料,GaN體系可以用來制備藍、綠光LED,藍紫、紫外光LD,紫外探測器以及高頻大功率電子器件。GaN易與AlN、InN等構成混晶,能制成各種異質結構,已經得到了低溫下遷移率達到105cm2/(v·s)的2-DEG,有效地屏蔽了光學聲子散射、電離雜質散射和壓電散射等因素。

生長方法

HVPE(氫化物氣象外延法)

晶體結構

六方

晶格常數(nm)

a:0.319     c:0.519

晶向

C-axis(0001) ± 0.5°

摻雜程度

輕摻、中摻、重摻

摻雜元素

導電類型

N

Semi-Insulating

帶隙(eV)

3.44

電阻率(Ω·cm)

< 0.5 Ω·cm

>106Ω·cm

遷移率(cm2/(v·s))



載流子密度(/cm3



位錯密度(EPD)(/cm2

<5x106

尺寸

10.0mm×10.5mm、14.0mm×15.0mm,可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸

表面

單拋片、雙拋片或切割片

厚度(um)

300 ± 25、350 ± 25、400 ± 25,可定制

TTV (Total Thickness

Variation)


TIR (Total Indicated

Reading)


Bow


Warp


包裝

100級潔凈袋,1000級超凈室





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